製品・サービス
不活性ガス循環精製装置
不活性ガス循環精製装置の主な仕様
| ガスの種類 | 窒素ガス、アルゴンガス、ヘリュームガス等 | |
| 標準循環流量（m3/h） | 6, 20, 30, 60 | |
| 循環ガス圧力バランス | 装置入口：約－6kPa、出口：約0.3kPa | |
| 不純物濃度 設計基準 | 水分 ppm.vol | 酸素 ppm.vol |
| 装置入口 | 10 （露点－60℃） | 1 |
| 装置出口 | 1 （露点－76℃）以下 | 1以下（実績0.1以下） |
| 精製方法 | 水分吸着剤 | Ni 触媒 |
|
再生方法：電気加熱 再生ガスによるパージ 真空置換 |
不活性ガスによるパージ | 水素5%～100%ガスによるパージ |
| 再生時間 | 24時間 | |
| 精製容量（上記条件にて） | 72時間 | |
| 循環ブロワー | ボルテックス式 | |
| 電源 | AC200V/220V 三相 50/60Hz | |
| 置換用及び圧力制御用真空ポンプ |
油回転真空ポンプ （オプション：ドライ真空ポンプ） |
|
| 接ガス部材質 | SUS304 | |
| 安全対策 |
非常停止、供給ガス及び計装ガス圧力低下、 吸着筒昇温異常、過熱、循環ブロワー過負荷、 真空ポンプ過負荷、グローブボックス内圧力異常等 |