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不活性ガス循環精製装置

不活性ガス循環精製装置の主な仕様

ガスの種類 窒素ガス、アルゴンガス、ヘリュームガス等
標準循環流量(m3/h) 6, 20, 30, 60
循環ガス圧力バランス 装置入口:約-6kPa、出口:約0.3kPa
不純物濃度 設計基準 水分 ppm.vol 酸素 ppm.vol
装置入口 10 (露点-60℃) 1
装置出口 1 (露点-76℃)以下 1以下(実績0.1以下)
精製方法 水分吸着剤 Ni 触媒

再生方法:電気加熱

再生ガスによるパージ

真空置換

不活性ガスによるパージ 水素5%~100%ガスによるパージ
再生時間 24時間
精製容量(上記条件にて) 72時間
循環ブロワー ボルテックス式
電源 AC200V/220V 三相 50/60Hz
置換用及び圧力制御用真空ポンプ

油回転真空ポンプ

(オプション:ドライ真空ポンプ)

接ガス部材質 SUS304
安全対策

非常停止、供給ガス及び計装ガス圧力低下、

吸着筒昇温異常、過熱、循環ブロワー過負荷、

真空ポンプ過負荷、グローブボックス内圧力異常等