製品・サービス
ソリッドＳｉＣ製品
製品の特徴
ソリッドＳｉＣとは、東海ファインカーボン株式会社が独自の製法で工業化に成功した、ＣＶＤ法で製作した超高純度ＳｉＣです。半導体装置部品に最も適した材料として期待されています。特徴：超高純度/耐薬品性に優れる/金属の拡散が圧倒的少ない/脱ガスフリーである/理論密度である（β型ＳｉＣ）