製品の特徴

本装置は最大３０ccのルツボを１２個直線上に配列しており、これらをモーター駆動によりリニアに移動できます。シーケンサのレシピプログラムを任意に構築することが可能で、レシピにより選択された材料は最適な状態で昇華され、任意の厚さの多層膜を連続して成膜することが可能です。ワークの装填においてはロードロック機構により、成膜室を大気に晒すことなく、自動搬送が出来ます。ロードロック室及び成膜室は大気圧状態から自動で真空引きが出来ます。