製品の特徴

半導体、液晶、LED等各種生産装置への搭載はもとより、バーナーガス制御、雰囲気ガス制御、混合ガス発生、通気量計測等、幅広い用途に対応するマスフローコントローラです。
制御回路には、上位モデルのSEC-Z500Xと同様の制御ロジックを採用しつつ、コストを抑えたマスフローコントローラとなっております。
制御通信ネットワークに対応（Device Net）したモデルもラインナップ
RoHS指令にも対応しております。