製品の特徴

従来のマスフローコントローラで対応出来なかった、ガス種、流量レンジの変更を可能にしたマスフローコントローラ。お客様ご自身で今必要とされるマスフローへ仕様変更頂けます。
制御通信ネットワークに対応（DeviceNet，EtherCAT）したモデルもラインナップ。品質を左右する、半導体製造の分野において、トップシェアを誇っております。
RoHS指令にも対応しております。